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Microscopía confocal e interferometría

Palabras clave: Microscopio confocal e interferómetro.

Personas de contacto:

  • Jefe del Servicio: Luis Alberto Angurel Lambán ( angurel@unizar.es ). Centro Politécnico Superior. Edificio Torres Quevedo. Universidad de Zaragoza. 50018 Zaragoza. (Tel.: 976 762520)

Descripción del equipo
: Microscopio dual Sensofar PLµ 2300 funcionando como confocal con objetivos 10x, 20x, 50x y 100x y como interferómetro con objetivos 10x y 20x, con programa de reconstrucción y análisis.

más información

Técnicas y/o instrumentación disponibles:

Combina las dos técnicas de medida no destructiva de la metrología de superficies sin contacto:

  • Sistema confocal: repetibilidad vertical inferior a 50nm, resolución lateral de 0.935 a 0.311 µm
  • Sistema interferómetro: utiliza la longitud de la luz como elemento de medida. Resolución vertical hasta 0.1nm en superficies muy lisas, resolución lateral 0.935 y 0.701.

Aplicaciones

  • Perfilómetro: perfiles y perfiles extendidos.
  • Obtención de topografías y topografías extendidas.
  • Medida de rugosidad, pendientes y defectos superficiales.
  • Toma de imágenes microscópicas convencionales y confocales.
Topografía de una moneda

(20x0.5x20 mm)
Superficie rugosa y de baja reflectividad

(3.8mmX0.81µmX3.8mm)
Semiconductor (nano-rugosidad)

(140µmX215nmX100µm)

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